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一种RF-MEMS微开关的圆片级封装

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作者符正威

出处《集成电路通讯》 2003年第1期41-41,共1页

关键词 RF-MEMS 圆片级封装射频微开关器件微电子机械加工

分类号 TM564 [电气工程—电器]

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集成电路通讯

2003年第1期

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