摘要
本文介绍了LSIC中版图场分割数据处理的方法 ,着重介绍了凹多边形版图场分割数据处理算法 。
A method of data processing of field division in LSIC pattern is introduced, in which concave polygon pattern is emphasized. A method to show how the concave polygon pattern being transformed into convex one is analysed in detail.
出处
《山东大学学报（工学版）》
CAS
2003年第1期1-4,共4页
Journal of Shandong University（Engineering Science）
基金
国家 8 6 3高科技项目 (编号 :2 0 0 1AA4 1 342 0 )资助
关键词
数据处理
电子束
软件/版图场分割
Data processing
Electron beam
Software for/Pattern field division
