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一种测量透明薄膜厚度的新方法 被引量：1

A Novel Method for Measuring Transparent Film Thickness
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摘要 介绍了一种分析获取干涉图的新方法 ,可使得计算机处理简单 。 A new method for analytically obtaining the form of an interferogram is proposed. The method permits simple implementation for a computerized treatment. We can use it to determine easily the thickness of a thin film.
作者 王玉田 赵世强 王遂 隋红丽
机构地区 燕山大学电气工程学院
出处 《传感技术学报》 CAS CSCD 2003年第1期6-8,共3页 Chinese Journal of Sensors and Actuators
关键词 厚度测量 薄膜 干涉测量 电荷耦合器件 thickness measurement thin films interferometry CCD
分类号 TH821.1 [机械工程—精密仪器及机械] TH744.3 [机械工程—光学工程]
  • 相关文献

参考文献5

  • 1[1]Ranson W F. Digital image techniques in experimental stress analysis[J]. Optical Engineering, 1982;21:427-431
  • 2[2]Coburn D. and Slevin J. Digital correlation system for nondestructive testing of thermally stressed ceramics[J]. Applied Optics, 1995;34:5977-5986
  • 3[3]Sirohi R. S. and Chau F. S. Optical methods of measurement[M]. Marcel Dekker, Inc. New York, 1999
  • 4[4]Flanders D.C. and Lyszczarz T.M. A precision wide-range optical gap measurement technique[J]. J Vac Sci Technol,BI 1983;1195-1199
  • 5[5]Martinez Risco M. Oeuvres Scientifiques. Presses Universitaires de France, Paris, 1976;73-79

同被引文献7

引证文献1

二级引证文献1

传感技术学报
2003年 第1期

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