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洁净室标准ISO 14644-1和-2的简介

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摘要 介绍了新的洁净室标准ISO14644-1和-2,它将对洁净室性能检测有重要的指导作用。
作者 Mr.Inderjit Singh
出处 《电子工业专用设备》 2003年第2期15-16,共2页 Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词 洁净室标准 ISO 14644-1 ISO14644-2
分类号 X383 [环境科学与工程—环境工程]
  • 相关文献
电子工业专用设备
2003年 第2期

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