先进制造技术之——IC&MEMS制造技术及其发展趋势(续前) 被引量：3

Advanced Manufacturing Technology IC & MEMS Manufacturing Technology and Its Development Trend

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摘要 4 IC制造技术的未来趋势 4.1工艺技术的发展趋势表1给出了1999-2010年半导体制造技术发展的主要特征参数,这一快速发展的技术数据符合Moore定律.经过30年验证的Moore定律是正确预言半导体制造技术发展的基本依据.集成电路是半导体器件的代表性产品,其发展也遵循这一规律.

作者王志越

机构地区华中科技大学

出处《电子工业专用设备》 2003年第1期12-16,56,共6页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词 IC MEMS 制造技术微电子机械系统光刻刻蚀发展趋势

参考文献8

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电子工业专用设备

2003年第1期

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