晶片传输系统中切边探测和预对准技术被引量：8

The OF Detection and the OF Prealignment Technology Of Wafer Loader System

下载PDF

导出

摘要介绍投影光刻机设备的晶片传输系统中切边探测和晶片预对准技术。 Mostly introduction the OF detection and the OF prealignment technology of the Wafer Loader system in the Projection-Lithography equipment.

作者杨兴平

机构地区中国电子科技集团公司第四十五研究所

出处《电子工业专用设备》 2003年第1期43-47,共5页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词投影光刻晶片传输切边机械预对准光学预对准半导体 Projection Lithography Wafer loader Orientation flat (OF) Detection Machine prealignment Optical prealignment

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

引文网络
相关文献

同被引文献48

1丛明,张士军,金洙吉,康仁科.径向直线运动型硅片传输机器人的设计与研究[J].制造业自动化,2005,27(2):35-37. 被引量：11
2李正贤.一种机械手式上下片传输机构[J].电子工业专用设备,1995,24(4):32-33. 被引量：3
3田社平,张守愚,李定学,俞朴.平面圆圆心及半径的最小二乘拟合[J].实用测试技术,1995,21(5):23-25. 被引量：35
4田陆屏.集成电路关键设备市场分析及发展战略[J].电子工业专用设备,2006,35(1):1-7. 被引量：11
5丛明,杜宇,沈宝宏,金立刚.面向IC制造的硅片机器人传输系统综述[J].机器人,2007,29(3):261-266. 被引量：20
6Ki N, Hong M. Diagnosis and reduction of robot arm vibration for 12-inch wafer spin scrubber [ J ]. Key Engineering Materials, 2004, 270 - 273 ( 1 ) : 884 - 889.
7Chiaki T. The trend of robot technology in semi-conductor and LCD industry[J]. Industrial Robot, 2001, 28(5): 406-413.
8Van Zant P．Microchip Fabrication：A Practical Guide to Semiconductor Processing (Fourth Edition)[M]．北京：电子工业出版社,2004．
9Fusaro D. Teach your robots well [ J ]. Control Design Magazine, 2003. 10:26-29.
10Cong M, Zhou Y M, Jiang Y. An automated wafer-handling system based on the integrated circuit equipments[A]. Proceedings of the IEEE International Conference on Robotics and Biomimetics [ C ]. Piscataway, NJ, USA: IEEE, 2005. 240-245.

引证文献8

1丛明,杜宇,沈宝宏,金立刚.面向IC制造的硅片机器人传输系统综述[J].机器人,2007,29(3):261-266. 被引量：20
2荣伟彬,宋亦旭,乔遂龙,孙立宁,赵雁南,李春江.硅片处理预对准系统的研究[J].机器人,2007,29(4):331-336. 被引量：7
3宋亦旭,杨泽红,李世昌,赵雁南.基于高精度预对准的硅片传输控制系统[J].光电工程,2008,35(10):116-120. 被引量：4
4谭立杰,王洪宇,王文举.大直径探针台的晶圆自动传输系统[J].电子工业专用设备,2011,40(11):36-40. 被引量：3
5刘玄博,孙广翔.非接触式预对准系统及控制技术研究[J].电子工业专用设备,2014,43(2):18-22. 被引量：1
6胡晓霞,黄睿,艾博.全自动探针台硅片传输系统的预对准算法研究[J].电子工业专用设备,2016,45(12):16-19. 被引量：3
7叶文涛,贺云波.基于S型曲线的传输机器人避障轨迹规划[J].组合机床与自动化加工技术,2020(4):74-78. 被引量：4
8耿克涛,刘长伟,陈胜华,王石磊.半导体制造领域的晶圆预对准系统综述[J].科学与信息化,2023(1):89-91.

二级引证文献39

1赵建伟,路新春,何永勇.化学机械抛光传输机器人晶圆抓取自适应控制方法[J].华中科技大学学报（自然科学版）,2012,40(S2):9-11.
2丛明,于旭,徐晓飞.硅片传输机器人的发展及研究现状[J].机器人技术与应用,2007(4):18-23. 被引量：13
3丛明,徐晓飞,刘静,石会立,崔冬梅.FPD玻璃基板搬运机器人研究[J].机器人技术与应用,2008(4):34-38. 被引量：1
4丛明,徐晓飞,代朋磊.面向IC制造的轨道导引车系统[J].机器人技术与应用,2008(6):27-31.
5曲东升,张世忠,荣伟彬,孙立宁.基于高精度测微仪的晶圆预对准方法[J].纳米技术与精密工程,2009,7(3):249-253. 被引量：2
6周杰,韩龙.采用线阵型光学传感器的晶圆预对准方法[J].黑龙江科技学院学报,2009,19(6):465-469. 被引量：5
7丛明,刘侃,伍英华.磁感应式磁力传动器及其性能实验研究[J].高技术通讯,2011,21(8):824-829.
8吕磊,胡晓霞,王洪宇.用于硅片传输系统的机械手设计[J].电子工业专用设备,2011,40(9):34-38. 被引量：1
9谭立杰,王洪宇,王文举.大直径探针台的晶圆自动传输系统[J].电子工业专用设备,2011,40(11):36-40. 被引量：3
10吕磊,胡晓霞,王洪宇.应用于硅片传输系统的机械手设计[J].电子工业专用设备,2012,41(3):36-40. 被引量：2

1徐向东.高、标清环境下的系统控制与关键技术问题的几点思考[J].现代电视技术,2010(7):46-49.
2刘玄博,孙广翔.非接触式预对准系统及控制技术研究[J].电子工业专用设备,2014,43(2):18-22. 被引量：1
3廖冰,谭艳.关于高标清同播下变换方式的思考[J].现代电视技术,2014(3):82-83.
4董同社.一种高精度基片预对准机构[J].电子工业专用设备,1997,26(1):35-38.
5占领客厅高地小米电视2[J].商业故事（数字通讯）,2014(11):23-23.
6王歆.中档4英寸新王者[J].电脑时空,2007(12):32-32.
7郁剑.改进的圆形单极子超宽带天线[J].电子元件与材料,2015,34(8):86-89. 被引量：12
8胡晓霞,黄睿,艾博.全自动探针台硅片传输系统的预对准算法研究[J].电子工业专用设备,2016,45(12):16-19. 被引量：3
9景帅真,范红,黄栋梁,张南峰,赵秋锦.基板二次预对准定心定向数学模型的研究[J].电子设计工程,2013,21(15):98-101.
10霍保强.CRT用销钉冲压切边工位的模具改进[J].金属成形工艺,1999,17(3):42-43.

电子工业专用设备

2003年第1期

浏览历史

内容加载中请稍等...

晶片传输系统中切边探测和预对准技术被引量：8

同被引文献48

引证文献8

二级引证文献39

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

晶片传输系统中切边探测和预对准技术 被引量：8

同被引文献48

引证文献8

二级引证文献39

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

晶片传输系统中切边探测和预对准技术被引量：8