半导体制造废水通过膜分离后循环的设备
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2徐捷,魏海萍,修光利,伏晴艳,吴迓名,李炎,王歆文.半导体行业挥发性有机物(VOCs)排放特征研究[J].环境科学与管理,2007,32(10):37-41. 被引量：15
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3徐捷,魏海萍,修光利,伏晴艳,吴迓名,李炎,王歆文.上海市半导体行业挥发性有机物(VOCs)排放特征研究[J].上海环境科学,2007,26(5):198-202. 被引量：6
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4《半导体制造中气体的使用》已经出版[J].低温与特气,1987,5(2).
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5丁飞.半导体制造行业清洁生产审核温室气体减排量计算方法探讨[J].环境科学与管理,2013,38(3):169-171.
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712英寸集成电路生产线今年底试投产[J].现代电子技术,2010,33(4):44-44.
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8武田笃彦,强亦忠.辐射在上水处理技术中的应用——在大阪放射线中央研究所的试验[J].环境科学与管理,1989,22(3):34-38.
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9付希燕.简单有效 EHS管理做得到——走进库力索法半导体(苏州)有限公司[J].现代职业安全,2014,0(5):66-69.
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10郑冬冬.台半导体业节水环保成效佳[J].半导体信息,2011,0(3):44-44.
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