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还原炉气柜设计
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摘要
多晶硅工厂是一个跨化工、冶金、机械、电子信息等多学科技术的新型产业,需要将这些学科技术集成于一体。多晶硅工厂所需要的设备多为专用的特殊设备,设计既精细又复杂,如:还原炉、氢化炉、气柜、调功柜,这些设备的设计往往需要涉及到温度、压力、响应时速、自动控制、使用寿命等等。本文着重讨论还原炉气柜设计的注意事项。
作者
曹伟
机构地区
山西潞安高纯硅业科技有限责任公司
出处
《科技传播》
2013年第8期185-186,共2页
Public Communication of Science & Technology
关键词
还原炉气柜
多晶硅
特殊设备
高温高压
分类号
TQ545 [化学工程—煤化学工程]
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