期刊文献+

还原炉气柜设计

下载PDF
导出
摘要 多晶硅工厂是一个跨化工、冶金、机械、电子信息等多学科技术的新型产业,需要将这些学科技术集成于一体。多晶硅工厂所需要的设备多为专用的特殊设备,设计既精细又复杂,如:还原炉、氢化炉、气柜、调功柜,这些设备的设计往往需要涉及到温度、压力、响应时速、自动控制、使用寿命等等。本文着重讨论还原炉气柜设计的注意事项。
作者 曹伟
出处 《科技传播》 2013年第8期185-186,共2页 Public Communication of Science & Technology
  • 相关文献

参考文献2

二级参考文献1

共引文献3

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部