基于自激振动原理的静电驱动器中微梁的受力研究
摘要
针对一种基于自激振动原理的静电驱动器中微梁受力展开理论分析计算和试验误差分析。
出处
《科技传播》
2014年第1期141-142,共2页
Public Communication of Science & Technology
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