DZL-3D电子式气动量仪测量误差分析

DZL-3D电子式气动量仪是一种精度高、测量范围大、稳定性好、能够非接触准确测量出微小尺寸变化的智能精密测量仪器。本文介绍了该仪器的工作原理,并结合孔径测量分析了影响仪器测量精度的主要误差因素,主要有气动仪器本体误差、气动测量装置误差和气动测量条件误差等方面。