气敏传感器的发展被引量：12

Development of Gas-sensitive Sensor

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摘要综合介绍了气敏传感器的种类及其近期的发展以及MEMS技术对气敏传感器的推动,并着重对声表面波(SAW)气敏传感器及石英微天平(QCM)气敏传感器的结构、工作原理和涂层材料作了详细的介绍。 Some aspects of gas sensors are discussed in this paper,including their types,recent developments and effects of MEMS on gas sensors.The structure,principle and coating material of SAW and QCM gas senors are presented in detail.

作者陈长庆胡明吴霞宛

机构地区天津大学电信学院

出处《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第1期33-35,共3页 Materials Reports

关键词 MEMS 声表面波石英微天平气敏传感器废气监测原理结构涂层材料 MEMS,SAW,QCM,gas sensor

分类号 TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] X831 [环境科学与工程—环境工程]

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