全方位沉积复合镀膜技术控制系统的研究

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摘要全方位注入沉积复合镀膜技术是一种新颖的材料加工的新技术。它针对现有薄膜制备技术的不足,提供了一种薄膜复合制备方法与装置,它利用磁控溅射、真空阴极弧光蒸发等方法,为全方位注入沉积复合镀膜表面改性提供了所需的离子体,从而解决了采用永久磁条切磁壁的方式约束等离子体造成真空腔体造价昂贵的缺点,降低了生产成本,简化了磁结构.

作者李鹏达

机构地区河南省义马煤炭高级技工学校

出处《科学中国人》 2015年第6X期24-,共1页 Scientific Chinese

关键词全方位沉积复合镀膜技术真空镀膜 PLC 控制系统分布式监控系统组态软件

分类号 TB306 [一般工业技术—材料科学与工程]

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