基于正弦相位调制的干涉技术及其误差分析

正弦相位调制干涉测量技术是目前国际前沿的高精度光学测量技术,具有灵敏度高、精度高、非接触及结构简单等特点,可以用于振动、位移、表面形貌等参数的高精度精密测量。本文利用滤波技术来处理正弦相位调制干涉信号并对该方法做了误差分析,仿真结果表明:滤波技术可以高精度的处理正弦相位调制干涉信号,且误差较小。