真空灭弧室气密性检测工艺研究

本文简述了真空灭弧室在制造过程中产生漏气的原因。从理论上分析比较了真空灭弧室放在氩气中与放在空气中的漏率,及对慢漏气灭弧室的加速检测工艺的探讨,阐明了实际生产中应用加压检漏工艺对真空灭弧室气密性进行加速检测的可行性。