利用动态聚焦系统UB16的表面测试

1.引言精确测量表面的技术特性,如粗糙度达几纳米,形状偏差达几十纳米以及同等量级的机械动态操作的波动性,变得越来越重要,因此过去几年完善和新发展了几种测量法。在几种非接触光学测量法中,动态聚焦法由于其测得的表面轮廓信息量大、水平和垂直分辨率高,动态性能明显、操作简便且接近实用而占重要地位。发展技术的出发点是高水平,这一点近几年已用光盘技术重现音频和视频信号达到。光盘存储信息的扫描问题是可在粗糙的工件表面传输,于是发展了利用动态聚焦原理的表面测量仪,显示出众和广泛的应用可能性。