硅衬底上的多量子阱空间光调制器

美国航天局喷气推进实验室提出一种新的两维空间光调制器,它以硅衬底上的多量子阱结构制作为基础(如图AlGaAs或InGaAs)。空间光调制器是光学数据系统的重要元件,目前还不能得到低功耗的大型高速光调制器。本文的新构思是利用硅电荷耦合器件(COD)的成熟工艺、GaAs/Si界面工艺的新近发展以及元素周期表中Ⅱ。