新型光学薄膜材料

物理汽相沉积法是制造光学薄膜的常用技术。需要薄膜的材料在真空中用电子枪或电阻加热使温度达到必要值,以便产生足够的蒸气压,使薄膜材料沉积在基体上。这种沉积方法达到的动能有限,并导致与大块材料性能有一定偏差的柱状膜层结构。新技术,如用离子蒸镀动能较高,膜层结构便有改善,但其致命缺点是生产成本显著增加。此外,激光破坏阈值可能会降低。考虑到各类材料特性和可能利用新材料时。