XeCl激光能量、时间和空间特性的控制

引言目前准分子激光器研制方面的进展,开创了它们在微电子学、医学、大气污染遥测、光学和等离子体诊断等各种科技领域应用的广泛可能性。但是每种应用都对它们的以下参数提出具体要求:辐射能量与脉宽、发散度和输出光束截面内的功率分布。到目前为止,文献中没有讨论上述参数与激光器形式和结构以及谐振腔类型的相互关系。本工作研究了,和型七种激光器的λ=308nm辐射特性;表明了激光器形式、结构和谐振腔类的型对辐射的能量、时间和空间特性的影响。