激光在微粒尺寸测量中的应用

一、概述随着机械、电子、化工、冶金、制药、环境保护等工业的发展,经常需要精确测定一些微粒的尺寸,而待测量对象的尺寸、几何形状和作用也各不相同。在涂层和血液分析中的亚微米级聚合物,造成各种污染的0.1～100μm的微粒,激光核聚变中φ100μm的玻璃小球。大规模集成电路中掩模板的线宽已达亚微米级,因此,测量和控制超纯水和光刻胶的微粒大小和数目已成为提高器件成品率的一项重要措施。