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由超高真空进入极高真空—真空技术的最近动向

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摘要 1.前言真空是由压力比大气压低的气体构成的特定空间状态。根据其压力,可分成低真空(100Pa以上,133Pa=1torr=1mmHg),中真空(100—0.1Pa),高真空(0.1~10^(-5)Pa),超高真空(10^(-5)Pa以下)诸领域。
机构地区 丰东热处理公司
出处 《国外金属热处理》 1992年第1期44-46,57,共4页 Heat Treatment of Metals Abroad
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