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为中国半导体产业提供最新设备和技术工艺——访亚舍立半导体贸易(上海)有限公司总经理李鸿图

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摘要胡:Axcelis(亚舍立)公司是离子注入技术及设备开发领域的先驱,请问你们目前有哪些新技术、新产品推出以满足 SIARoadmap 规划的需求?李:Axcelis 一向注重新技术和新产品的开发。

作者胡芃

出处《中国集成电路》 2003年第46期122-122,121,共2页 China lntegrated Circuit

关键词中国半导体产业生产设备生产工艺人物采访李鸿图 GSD—Ultra离子注入机

分类号 F426.63 [经济管理—产业经济]

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中国集成电路

2003年第46期

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