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化学气相沉积在高温领域的应用

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作者王立群

出处《国外稀有金属动态》 1992年第20期5-6,共2页

关键词化学气相沉积应用

分类号 TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]

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国外稀有金属动态

1992年第20期

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