摘要
在“星光 Ⅱ”装置上以类Ne铬x射线激光作为标定源 ,以平场光栅谱仪为分光元件进行了 2 8 5nm的Mo Si多层膜反射镜效率测量 .介绍了实验方法 ,给出了实验结果 ,本次研制的两块多层膜镜反射率分别为 3 1%和 9.6 % .
The reflectivity of the 28.5nm Mo/Si multilayer mirrors are measured at Xingguang-II laser facility using a flat-field grating spectrograph with the Ne-like Cr x-ray laser as a soft x-ray source. The reflectivities obtained for two samples are 0.031 and 0.096.
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期809-812,共4页
Acta Physica Sinica
基金
国家自然科学基金 (批准号 :199740 74和 60 180 0 7)
国家高技术研究发展计划资助的课题~~
