氟化物电子气体

氟化物电子气体是电子信息材料领域特种电子气体的组成部分,它包括掺杂剂、蚀刻剂和成膜材料,品种多,批量小,技术含量高。生产工艺通常包括粗品制备和深度纯化。 本成果研制的系列产品的生产工艺技术和分析技术有:电解制氟,碳型材料、氧化物或金属粉末直接氟化,氟氯碳催化技术,低温蒸馏和精馏;低温吸附分离,真空技术,配气技术,气相色谱分析,离子色谱和化学分析。