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无衍射光莫尔条纹法直线度测量仪 被引量:6

Instrument for straightness measurement using non-diffracting beam and moire fringe
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摘要 提出用无衍射光和环光栅重叠产生环状莫尔条纹的技术来进行空间直线度测量的技术 ,给出了理论分析、仪器结构和原理实验 ,并对该方法在同时实现高分辨力和大量程直线度测量的可能性 。 A method of spatial straightness measurement by the method of super positioning the non diffracting beam and ring grating to generate moire fringe is proposed.Theoretical analyses,instrument structure and principle experiment are given.Some characters,such as the possibility of maintain high sensitivity and large measurement range simultaneously,resistance to laser bean draft are discussed.
作者 赵斌
出处 《光学仪器》 2003年第2期43-46,共4页 Optical Instruments
基金 国家自然科学基金资助项目 ( 5 980 5 0 0 6)
关键词 无衍射光 莫尔条纹 直线度 测量仪 分辨力 non diffracting beam moire fringe straightness
  • 相关文献

参考文献5

二级参考文献2

  • 1张彬,激光技术,1996年,20卷,14页
  • 2玻恩 M,光学原理.下,1981年,1002页

共引文献29

同被引文献34

引证文献6

二级引证文献45

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