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薄膜晶体管制造中的薄膜成形装置

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作者 彭补之
出处 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期76-76,共1页 Materials Protection
关键词 薄膜晶体管 制造 薄膜成形装置 等离子体化学气相沉积装置
分类号 TN321.5 [电子电信—物理电子学]
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材料保护
2003年 第4期

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