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用于扁平平面显示的In—Sn氧化物薄膜的低温脉动磁控溅射

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作者 彭补之
出处 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期77-77,共1页 Materials Protection
关键词 扁平平面显示 In-Sn氧化物薄膜 低温脉动 磁控溅射
分类号 TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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材料保护
2003年 第4期

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