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Lagmuir探针电源的研究 被引量:4

The Research of Langmuir Probe Power Supply
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摘要 基于langmuir探针诊断原理,研究了探针供电电源及探针电流、电压检测电路。电源对射频干扰有很好的抑制能力,电压、电流的检测精度均小于0.5%。 Probe power supply and detecting circuits of probe current and probe voltage are studied in this article, which is based on langmuir probe diagnostic principle. The power has a good restraining ability form rf interference, and its measurement precisions of probe current and voltage are less than 0. 5%.
出处 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2003年第1期63-65,共3页 Journal of Changchun University of Science and Technology(Natural Science Edition)
关键词 Lagmuir探针电源 积分转换 等离子体 微细加工 Plasma Langmuir probe Power supply Simple-slope integration
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