砷化镓分子束外延

外延层是由喷炉蒸发膜组分元素及掺杂元素淀积的。在生长掺锡的砷化镓时,一个炉装锡,一个炉装满多晶砷化镓,一个装纯镓。所有的喷炉都用液氮包围起来,液氮上敷有一冷致开口,且设机械闸。因此分子束可以突然地开和闭。喷炉与衬底的温度用热偶测量。而分子束的组分用质量光谱仪分析。