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IC先导开发向批量生产的技术转移
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摘要
硅片加工工艺从研究小组转移到批量生产阶段,必须按几条指导原则来计划进行。
作者
Douglas J. Welter
成福康
机构地区
莫托洛拉双极工艺中心
出处
《微电子学》
CAS
1988年第5期80-85,共6页
Microelectronics
关键词
批量生产
加工工艺
小组
成批生产
加工技术
硅片
技术转移
IC
分类号
F2 [经济管理—国民经济]
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微电子学
1988年 第5期
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