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非接触式光学测量系统
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《红外》
CAS
1992年第1期42-45,共4页
Infrared
关键词
光学
测量系统
激光器
发光二极管
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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于瀛洁,李鹏生,强锡富.
外差干涉测量系统调焦的定心方法的研究[J]
.光学精密工程,1998,6(4):111-117.
被引量:1
2
邓洁虹.
JX7型万能工具显微镜数字化改造[J]
.中国计量,2016(10):82-83.
红外
1992年 第1期
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