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硅中氧的FTIR研究

FTIR STUDY OF OXYGEN IN SILICON
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摘要 对不同氧含量的硅片在300K到4.2K温度范围进行红外吸收测量表明:低温(80~4.2K)下硅的红外吸收谱中1127cm^(-1)处的吸收是硅中氧的吸收峰. Silicon crystals of different oxygen contents have been investigated by means of infrared absorption spectroscopy at 300K and 4.2K. It is seen from the experiments that the absorption band at 1127cm^(-1)at low temperatures (80~4.2K) is due to oxygen absorp- tion.
出处 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1992年第4期327-330,共4页 Journal of Infrared and Millimeter Waves
基金 红外物理国家重点实验室部分资助课题
关键词 红外辐射 silicon, oxygen, infrared absorption.
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参考文献1

  • 1许振嘉,物理学报,1980年,29卷,7期,867页

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