摘要
概述国内外目前已实现的微机械传感器,特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理、性能和发展方向。
This article introduces the types,basic principle,features and development trend of micromechanical sensors, especially that of resonant sensors.
出处
《电子元器件应用》
2003年第4期8-11,共4页
Electronic Component & Device Applications
基金
国家自然科学基金(60036016
50077016)
教育部博士点基金(98069828)。
