现代几何量精密测量技术动向

随着大型精密机械和超大规模集成电路等制造工业的不断发展,要求计量工作者提供高精度、高效率、大量程和显微测量的仪器及其测量方法的呼声愈来愈高,从而极大地拓宽了几何量精密测量技术的应用领域。本文欲就现代几何量精密测量技术的几个发展动向作一介绍,供参考。