全息干涉法测量表面粗糙度

本文以轴承滚道为例,介绍一种测量表面粗糙度的新方法——全息干涉测量法。该方法采用菲涅耳全息图透镜成象原理,优点是适用于任意曲面,且测量精度较高,应用此法还可检验加工工件的形状误差。