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基于压电陶瓷的二维微动工作台有限元分析 被引量:9

Finite Element Analysis of Two Dimensions Micro - pcsitioner
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摘要 本文对二维微动工作台的一些关键技术进行了理论分析,并借助于ANSYS软件建立了二维微动工作台的有限元模型,采用有限元分析方法,对其静、动态力学性能进行了数值分析,得出了微动工作台的静态力学性能及固有频率。 This paper analyzes some key techniques of two dimensions Micro- positioner, and constitutes finite element model of the Micro -positioner by ANSYS software. The numerical analysis on static and dynamic behavior of the Micro - positioner is carried by using the finite elements method. Thereout, obtains static mechanical property and natural frequency of the Micro- positioner.
出处 《机床与液压》 北大核心 2003年第2期39-40,共2页 Machine Tool & Hydraulics
基金 浙江省自然基金资助项目 项目编码:502021
关键词 二维微动工作台 有限元分析 压电陶瓷 柔性铰链 微位移机构 Micro-positioner Flexure hinges Finite element analysis
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参考文献4

二级参考文献12

共引文献53

同被引文献32

  • 1陈时锦,杨元华,孙西芝,程凯.基于柔性铰链的微位移工作台性能分析与优化设计[J].机械设计,2004,21(7):46-49. 被引量:15
  • 2冯晓丹,张玉,张黔.线切割加工对模具工作表面的影响及后处理[J].模具工业,2004,30(9):51-54. 被引量:16
  • 3方元坤,潘仲明,杨涛.Cymbal型复合压电作动器微进给技术研究[J].单片机与嵌入式系统应用,2005,5(12):52-54. 被引量:4
  • 4高宏 李庆祥 等.亚微米弹性微位移工作台系统的设计及精度分析[J].清华大学学报,1988,28(5):19-28.
  • 5薛实福 李庆祥主编.精密仪器设计[M].北京:清华大学出版社,1989..
  • 6WEI X, KING T, Flexure hinges for piezoactuator displacement amplifiers: flexi-bility, accuracy, and stress considerations[ J ]. PrecisionEng, 1996,19 ( 1 ) : 4 - 10.
  • 7ELMUSTAFA A A, LAGALLY M G. Flexural-hinge guided motion nanopositioner stage for preci-sion machining: finite element simulations [ J ]. PrecisionEng, 2001,25(1) :77- 81.
  • 8MASUZAWZT.State of the art of micromachining[J]. Annals of the CIRP, 2000,49(2) .. 473-488.
  • 9Volker K S Feige,Ludwig J Balk. Calibration of a Scanning Probe Microscope by the Use of an Interference-holographic Position Measurement System. Meas. Sci. Technol. 14(2003):1032-1039.
  • 10J. M. Paros,L. Weisbord,How to design flexure hinges,Machine Design, 1965,151-156.

引证文献9

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