KEITHLEY与NOVELLUS共同开发自动诊断测试
出处
《今日电子》
2003年第6期70-70,共1页
Electronic Products
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1吉时利（Keithley）与Novellus共同开发自动诊断测试系统[J].电子元器件应用,2003,5(6):69-69.
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2吉时利与Novellus共同开发自动诊断测试[J].电子测试,2003(6):120-120.
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3吉时利（Keithley）与Novellus共同开发自动诊断测试[J].电子工业专用设备,2003,32(3):41-41.
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4王鹏飞,张卫,王季陶,李伟.用作超大规模集成电路低k材料的有机薄膜[J].微电子技术,2000,28(1):31-36. 被引量：9
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5三菱推出耐用型低绝缘值材料[J].现代电子技术,2004,27(22):116-116.
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6Novellus始创翻新系统业务[J].中国集成电路,2005(4):11-11.
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7高荣.低K材料在半导体集成电路中的应用与展望[J].集成电路应用,2006,23(8):52-52.
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8R. Kregting,O. van der Sluis,R.A.B. Engelen,W.D. van Driel,G.Q. Zhang.用于后端工艺中铜/低k材料金属去除的实验数值研究(英文)[J].电子工业专用设备,2006,35(9):51-58.
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9刘文俊.a-C:F碳:一种坚固的低K材料[J].微电子技术,1999(3):60-60.
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10NOVELLUS力推用于65-NM以及更小规格技术标准的先进平面化系统[J].集成电路应用,2004,21(7):3-3.
