洁净室中的静电污染

洁净室静电危害主要有静电击穿和微粒子吸附两种。静电击穿产生的原因是静电放电(简称为ESD；E1ectro Static Discharge)；微粒子吸附主要与静电力(库仑力)、重力和扩散作用为主的三个作用力有关。所有这些静电危害都会给洁净生产造成影响。