Silicon nitride films prepared by helicon wave plasam—enhanced chemical vapour deposition
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3于威,侯海虹,王保柱,刘丽辉,傅广生.氢化非晶氮化硅薄膜的光学特性研究[J].河北大学学报(自然科学版),2003,23(3):253-256. 被引量:3
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4于威,吕雪芹,宋维才,路万兵,傅广生.碳化硅薄膜的光学特性研究[J].河北大学学报(自然科学版),2007,27(1):24-27. 被引量:2
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8傅广生,张江勇,丁文革,吕雪芹,于威.纳米非晶硅薄膜的界面发光特性[J].Journal of Semiconductors,2007,28(z1):91-94. 被引量:1
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10周东,许向东,王志,王晓梅,蒋亚东.氮化硅薄膜的应力与性能控制[J].电子器件,2010,33(4):407-411. 被引量:3