新型硅基气体传感器

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摘要一种基于多孔硅和独特金属化工艺的新型传感器问世,与现有技术相比,可提高敏感性,降低电力需求和成本,还可用于环境探测、食品和生物医学应用中的重要气体化合物.

作者王洪涛

出处《现代科技译丛（哈尔滨）》 2003年第2期48-49,共2页

关键词硅基气体传感器多孔硅无电加工技术制造

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现代科技译丛（哈尔滨）

2003年第2期

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