单晶硅表面无掩膜极微细加工成形的研究

Ultramicro-formation on Surface of Single Crystal Silicon Without Masking

对单晶硅表面进行极微细加工中 ,直接用摩擦力显微镜机构 ( FFM)进行机械加工 ,然后用 KOH溶液对加工基片腐蚀 ,发现被加工部位能形成凸台 ,对影响凸台成形的各种因素进行了试验研究 ,并介绍了这种新式成形工艺的应用实例。