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光刻胶之关键技术

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摘要 光刻胶长期以来即被广泛地运用在各类产业中。以电子工业及IC工业为例,由于光刻胶具备感光成像之特性,可将微细线路刻画于各种基板上,对于计算机电路板、液晶显示面板及集成电路器件等产品的微影光刻加工程序,是不可或缺的关键材料。近年来,在电子器件愈做愈小的趋势下,光刻胶的性能。
出处 《集成电路应用》 2003年第6期75-76,共2页 Application of IC
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