期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息

射频微机械共面波导开关测试技术研究 被引量：1

A Study on the Test Technique for RF MEMS CPW Switch
下载PDF
导出
摘要 　通过对射频微机械共面波导(CPW)开关的工作原理进行分析,提出了一种测试射频微机械开关的电路结构。根据Cadence工作站的模拟,验证了该方案的可行性,并获得了该测试结构的优化电参数条件,为射频微机械CPW开关的测试和应用打下了基础。 A test method for radio frequency MEMS coplanar waveguide ( CPW) switch is presented based on the analysis of its operational principle Simulation indicates that this method is applicable for testing micromachined RF CPW switches Optimizing conditions for the test structure are obtained 
作者 张正元 肖坤光 徐世六 张正璠 欧益宏 温志渝
机构地区 重庆大学光电工程学院 中国电子科技集团公司第二十四研究所
出处 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期12-14,18,共4页 Microelectronics
关键词 射频微机械 共面波导开关 金属膜 CPW 工作原理 RF MEMS Coplanar waveguide switch Metal film
分类号 TN25 [电子电信—物理电子学]
  • 相关文献

参考文献4

  • 1朱健,林金庭,林立强.DC—20GHz RF MEMS Switch[J].Journal of Semiconductors,2001,22(6):706-709. 被引量：10
  • 2Park J Y, Kim G H, Ki W, et al. Monolithically integrated micromachined RF MEMS capacitive switches[J]. Sensors and Actuators, 2001; 22(1) : 88-94.
  • 3Kobrinsky M J, Deutsch E R, Senturia S D. Effect of support compliance and residual stress on the shape of doubly supported surface micromachined beams [J].Micro-electromechanical Systems, 2000; 9 (3): 361-369.
  • 4Goldsmith C L, Yao Z, Eshelman S, et al. Performance of low-loss RF MEMS capacitive switches [J].IEEE Microwave and Guided Wave Letters, 1998; 8(8) : 269-271.

二级参考文献2

  • 1Yao Zjamie，IEEE J Microelectromechan Systems，1999年，8卷，2期，129—134页
  • 2Osterberg P，Proc MEMS'94，1994年，28—32页

共引文献9

同被引文献18

  • 1卿健,石艳玲,赖宗声,朱自强.MEMS移相器及其在微型通信系统中的应用[J].微电子学,2002,32(4):241-244. 被引量：6
  • 2[5]Karl M. Strohm, Bernd Schauwecker. RF- MEMS Switching Concepts for High Power Applications. IEEE,2001: 42～46
  • 3[6]S. Pacheco, C. T. Nguyen, L. P. B. Kaehi. Micromechnical electrostatic K - band Switches. IEEE MTT - S Intenational Microwave Sysposium, 1998, (6): 1569～1572
  • 4[10]Linda P. B. Katehi. RF MEMS for High - Frequency Applications, 2002
  • 5[11]R. Strawser et. al. RF MEMS Switches. Air Force Research Lab, 2000, 12
  • 6[16]Gabriel M. Rebeiz, Guan- Leng Tan, RF MEMS Phase Shifters: Design and Applications. IEEE Microwave magazine, 2002:72～81
  • 7[17]Jad B. Rizk, Gabriel M. Rebeiz. W - Band CPW RF MEMS Circuits on Quartz Substrates. Microwave Theory and Techniques, 2003, 51(7): 1857～1862
  • 8[18]John Ehmke, Jim Brank. RF MEMS Devices: A Brave new World for RF Technologh. Raytheon Systems Company
  • 9[19]Rainee N. Simons, and etc. Microelectromechanical systems (MEMS) Actuators for Antenna Reconfigurability.IEEE MTT- S Digest, 2001 : 215～218
  • 10[20]Dr. Ernest Potensiani. DAPPA Reconfigurable Aperture (RECAP) Program. U. S. Army Communication-Electronics Command Research Development and Engineering Center, 1999

引证文献1

二级引证文献4

微电子学
2003年 第1期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部