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SOI传感器的现状和发展趋势 被引量：5

State of the art and trends of SOI sensor
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摘要 SOI传感器具有耐高温、抗辐射、易于批量生产等优点。目前已开发出力学传感器、化学传感器、光传感器和磁传感器等新产品。介绍了SOI晶片的种类,SOI晶片在传感器和MEMS中应用的特点、SOI传感器的典型产品以及发展趋势。 SOI has the advantages of resisting high temperature and radiation,easy to be batch produced.Mechanical,chemical and optical sensors, etc have been developed presently.The category of SOI wafers and its characteristics and applications in MEMS have been introduced,typical products and state of the art and trends are summarized.
作者 海涛 刘光辉 周真 卢为
机构地区 中国电子科技集团公司第四十九研究所 哈尔滨理工大学测量技术与通讯工程学院
出处 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第5期61-64,共4页 Journal of Transducer Technology
关键词 SOI传感器 发展趋势 发展现状 SOI晶片 力学传感器 化学传感器 光传感器 磁传感器 硅氧化物绝缘体 silicon on insulator (SOI) sensor MEMS
分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 相关文献

参考文献13

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同被引文献132

引证文献5

二级引证文献21

传感器技术
2003年 第5期

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