摘要
对液相沉积法制备TiO_2薄膜的成膜机理进行了探讨,根据成膜机理建立了数学模型,用Excel规划求解与VBA编程相结合对动力学常数进行了求解,所得到的动力学参数可靠,模型计算结果与实验结果吻合良好。
Probe into the mechanism of preparin g the TiO 2 thin membrane .According to the mech anism the kinetics model is established .Combining the programming Visual Basic with Solver in Excel,the kinetics parameters are obtained.The theoretical results a gree with experimental data.
出处
《安徽工业大学学报（自然科学版）》
CAS
2003年第3期195-199,共5页
Journal of Anhui University of Technology（Natural Science）
基金
安徽省教委自然科学基金项目(2002kj049)
关键词
液相沉积法
TIO2薄膜
动力学
模型
Liquid deposition production
TiO_2 thin membrane
kinetics
model
