光散射的镜面反射分量与随机表面高度分布的表征

从理论上分析了随机表面散射光强的镜面分量与表面高度概率分布的关系。表面高度分布的提取需要用到镜面反射分量的振幅和相位。由镜面反射分量的强度随波矢量的垂直分量变化的实验数据恢复光波的相位,实现了表面高度概率分布的光散射表征。相位的恢复采用了Gerchberg-Saxton迭代算法。实验上分别对具有Gauss高度分布和准二值高度分布的两个样品进行了高度概率的测量,测量结果与原子力显微镜的测量相吻合。这对于随机表面的非接触标定与研究有重要意义。