摘要
由于半导体产业的迅猛发展,集成电路的集成度也越来越高,线宽越来越窄,对微小颗粒引起的疵点越来越敏感。因此,控制颗粒、保持洁净、防止污染已经成为集成电路产业化的关键。而对洁净环境的测试、鉴定又成为验证洁净厂房能否满足生产要求不可或缺的重要一环。带着这方面的一些问题,我们专访了洁净环境测试领域的专业性服务公司--上海净源科技有限公司市场总监董大炜先生。
出处
《电子工业专用设备》
2003年第3期31-32,共2页
Equipment for Electronic Products Manufacturing