大型光学玻璃超光滑表面加工技术

众所周知,影响抛光面反射系数的主要原因之一就是其表面的粗糙度。根据瑞利原理,抛光玻璃的分光散射度取决于入射光的波长及其入射角。 抛光表面的粗糙度受诸多因素的制约,这些因素包括:尺寸、形状、硬度、抛光粉的粒度吸附性、抛光玻璃的硬度、抛光机的机械性能、所用抛光液的性能及其与玻璃表面进行化学作用的能力以及抛光工艺因素等。 玻璃抛光工艺的种类,现主要有三种:细微研磨加工工艺,塑性流动加工工艺和理化作用加工工艺。每一种机械加工工艺基本概念是不同的,即实际抛光过程的作用原理及其影响到粗糙度大小是不一样的。 国内外科学家用多光束干涉法研究了对抛光玻璃表面,根据所供数据看,分辨能力达到0.3～0.5 nm,大小不规则程度约为2～6 nm之间。另外还有其他一些数据:例如,运用X光反射法得出了细微粗糙度为1nm的结论;