专用分划板分划值检测装置

在光学仪器及其标准检具中,常使用几毫米或零点儿毫米尺寸范围的非整毫米线条分划间距的分划板,其外形尺寸小而薄,分划值要求允差不大于0.5微米,通用线纹检测设备难以检测,本文提供一种简便实用的检测装置,可满足检测要求。一、检测装置检测原理是用量块尺寸与分划板线条分划值进行比较。该检测装置如图1所示,其基体为万能工具显微镜(简称仪器,下同)。用夹具2将接触式干涉仪光管3安装在仪器的中央显微镜下端,专用三珠工作台5安装在仪器顶尖杆6的一侧。