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RTP硅太阳电池的研究进展 被引量：2

Research evolvement on RTP silicon solar cells
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摘要 用快速热处理 ( RTP,Rapid Thermal Processing,)制备太阳电池 p-n结开辟了一种新的低成本技术。这些年许多科研机构对 RTP系统的设计、RTP快速扩散模型、RTP制作器件做了深入的研究。文章主要介绍了 RTP快速扩散模型和回顾了 RTP硅太阳电池的发展过程 ,提出了 RTP硅太阳电池研究的一些发展方向。 Rapid thermal processing (RTP) for junction formation is emerging as low cost technique for solar cells as well as for other semiconductor device production. These years, many people have been researching RTP furnace, RTP diffusion model, and RTP semiconductor device production. The paper reviewed research evolution on RTP history, RTP system, and RTP silicon solar cells including research situation and techniques.
作者 查超麟 刘祖明 陈庭金 李景天 张忠文
机构地区 云南师范大学能源与环境科学学院 云南半导体器件厂
出处 《云南师范大学学报（自然科学版）》 2003年第4期25-33,共9页 Journal of Yunnan Normal University:Natural Sciences Edition
基金 国家"8 63"资助项目 ( 2 0 0 1 AA5 1 3 0 40 )
关键词 RTP硅太阳电池 研究进展 快速热处理 快速扩散模型 制作工艺 扩散机理 RTP silicon solar cells rapid thermal diffusion crystalline silicon monocrystrlline silicon solar cells multicrystalline silicon solar cells
分类号 TM914.41 [电气工程—电力电子与电力传动]
  • 相关文献

参考文献46

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同被引文献41

引证文献2

二级引证文献7

云南师范大学学报（自然科学版）
2003年 第4期

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